大連空氣源熱泵主要技術(shù)表現(xiàn)為兩種:一種是以美國AG、MPT、德國AST等公司為代表的單點測溫技術(shù)、熱源為線狀光源(燈管)的雙面加熱形式，利用紅外熱輻射加熱的原理對硅晶片直接加熱實現(xiàn)。另一種是美國應用材料公司獨特的多點側(cè)沮技術(shù)、熱源采用點狀光源(燈泡)、單面加熱形式，球形燈泡發(fā)出的光經(jīng)過高透過率的石英窗口進入反應腔內(nèi)對位于硅片支排環(huán)上的硅片加熱.

  溫度信號檢側(cè)是通過多個響應時間非常快的紅外式探針來實時檢測，品片在加熱過程中高速旋轉(zhuǎn)，使得晶片表面與反應氣體之間的接觸概率相差無幾。爐料的散熱功能，爐料的散熱功能越好，內(nèi)部熱量向外丟失越快，熱量很容易就損耗在反響料之外，致使必定點的溫度下降?？墒侨羰欠错懥系纳峁δ芮泛茫瑒t利于熱量的會聚，使得熱量向外傳遞時刻加長，有利于反響料對熱量的吸收和反響地進行，進步必定點的溫度。

  應都在高真空條件下(4～13Pa)進行，反響溫度1200℃左右，芯溫度很快就能到達所需值，因而反響時刻的長短取決于反響料的厚度，即爐芯外圍反響料到爐體保溫層的間隔。能夠經(jīng)過規(guī)劃爐體尺度操控供電時刻。